• 大型液晶玻璃基板的洗净技能
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    大型液晶玻璃基板的洗净技能

    一.序
    ??LCD表现屏之用处以电脑、手提德律风以致在电视上的必要也正在连忙的增加。
    各LCD表现屏厂商为增长产量简化消费工序、减低本钱等,正在不停地高兴,在a-siTFT之表现屏中,为增长产量分外把母玻璃尺寸增大之事件作出测试。
    ??示图1 母玻璃尺寸在2001年第5期时(1200mm*1200mm级)、2002~2003年时第5+期(1100mm*1250mm级)及6期(1250mm*1650mm级)等尺寸的消费予展望速率。

    图1 母玻璃尺寸
    母玻璃尺寸之推移
    ??HC-4意像图

    ??此论文、目标是介绍在开辟历程中,研讨出对大型LCD基板次要之洗净技能效果。

    二.洗濯SEAL
    ??关于洗濯玻璃基板时,次要洗濯辨别以微粒子净化、无机物、金属物去微粒子的SEAL,与有关尼龙AG8加以阐明。
    ??1)随着玻璃基板之大型化,以洗濯方法举行时,打仗面增大时磨擦力也随之增长的状况下,运送时呈现有不安宁及洗净结果不均等状况。

     

    ??2)按此题目盘算,刷毛之直径从原本的0.07mm改为0.05mm。增长植毛密度(3倍)后刷毛的测试参数如下图2:

    图2 刷毛之按着力气及摩擦力

    ??接着力增长时,刷毛直径0.07玻璃基板外表之摩擦力比例引对地增长。当刷毛直径0.05mm时所发生之摩擦力肯定会比前者少。
    ??在玻璃基板运送时之影响也有肯定之改进。
    ??以2种差别直径AG8之洗净评价后果如下图3。而AG8直径0.07mm的洗净功能与AG8之转动数有绝对干系,0.05mmAG8因此较阔范畴的转动,使它有洗净的宁静性。这个也与植毛之密度高的结果下有间接干系。

    图3 残留粒子的评价

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